X線検査装置

高性能・非破壊検査装置・電子部品検査・基盤検査

ノードソン・アドバンスト・テクノロジー株式会社

本社:東京都江東区/設立:1989年3月/資本金:1〜3億円未満

ナノフォーカスX線検査装置 XD7600NT Diamond 【X線発生管】NT型X線管/認識解像度:0.1μm
【X線検出器】第3世代2MピクセルデジタルI.I.管(X線検出器)
【幾何学倍率】2,000倍(計算値)、モニター倍率12,000倍
【X線発生管可動域】最大70°傾動、サンプルを中心に360°方向から観察可能。
サブミクロンフォーカスX線検査装置 XD7500VR Jade/Jade FP 【試料テーブル寸法】最大基板サイズ508mm × 444mm ※オプションにて660mm × 800mmの大型ステージモデルへの切り替えも可能
【最大検査範囲】458 × 407 mm
【最大サンプル重量】5 kg
【X線発生管】XD7500NT Jade/ Jade FP/X線管/管電圧:160kV/管電流:0.2mA/認識解像度:0.95μm
【X線検出器】130万画素デジタルI.I.管 or 130万画素フラットパネルディテクター(X線検出器)を搭載
【幾何学倍率】1200 倍
【イメージインテンシファイヤ管傾斜角】最大70°傾動、サンプルを中心に360°方向から観察可能。
【X線漏洩線量】1μSv/h未満
【外見寸法】1,450(W)×1,700(D)×1,970mm(H)
【重量】約7,500kg