X線検査装置

高性能・非破壊検査装置・電子部品検査・基盤検査

株式会社マーストーケンソリューション

本社:東京都新宿区/設立:1998年10月/資本金:1〜3億円未満/売上:30 〜50億円/従業員数:100名〜199名

半導体・電子部品向けナノフォーカスX線検査装置 TUX-5000F 【ステージサイズ】直径60mm
【最大検査範囲】直径60mm
【ステージストローク】X軸:±30mm、Y軸:±30mm、Z軸:200mm、θ軸:350°
【傾斜検出方式/角度】ステージ傾斜方式 / 45°
【X線発生管】FE型 開放管X線源(熱電界放射陰極ZrO/W(100))/管電圧:20〜80kV/管電流:0〜200μA/最高分解能:0.1μm
【X線検出器】4/2インチ切り替え式 I.I アルミウィンドウ/カメラ:145万画素CCD 10bitグレースケール
【幾何学的拡大率】2500倍
【最大モニター倍率】10000倍
【外見寸法】1300(W)×1560(D)×2230(H)mm
【重量】約2000kg
傾斜CT専用ナノフォーカスX線顕微検査装置 TUX-3210N 【ステージサイズ】440mm×440mm
【最大視野サイズ】33mm×24.5mm
【ステージストローク】X軸:±100mm、Y軸:±100mm、Z軸:200mm、θ軸:605°
【傾斜検出方式/角度】検出器傾斜方式 / 60°
【X線発生管】0.4μm〜3μm分解能切り替え式開放管X線源(高輝度タイプLab6チップ)/管電圧:20〜130kV/管電流:10〜200μA/最高分解能:0.4μm
【X線検出器】4/2インチ切り替え式 I.I アルミウィンドウ/カメラ:145万画素CCD 10bitグレースケール
【幾何学的拡大率】1000倍
【最大モニター倍率】4700倍
【外見寸法】1506(W)×1190(D)×1997(H)mm
【重量】1500kg
汎用ナノフォーカスX線顕微検査装置 TUX-3200N 【ステージサイズ】直径400mm
【最大視野サイズ】31mm×23mm
【ステージストローク】 X軸:±200mm、Y軸:±150mm、Z軸:230mm、θ軸:360°
【傾斜検出方式/角度】 検出器傾斜方式 / 60°
【X線発生管】開放管X線源/0.4μm〜3μm分解能即時切替え方式(高輝度タイプLab6チップ)/管電圧:20〜130kV/管電流:10〜200μA/最高分解能:0.4μm
【X線検出器】4/2インチ切り替え式 I.I アルミウィンドウ、カメラ:145万画素CCD 10bitグレースケール
【幾何学的拡大率】1200倍
【最大モニター倍率】5760倍
【外見寸法】1515(W)×1215(D)×1900(H)mm
【最大総合倍率(24インチ換算)】1500kg